188体育平台

产物中心

产物中心

产物描述
参数

设备名称

Load port

型号

ASL300

ag8亚洲国际平台游戏应用

300mm Wafer 尺度装载台

尺寸(参考)

1386*472*493(mm)

Wafer规格

300mm(12寸)Wafer

设备净重

70KG

控制接口

串口,以太网

Mapping

具备Mapping功效

Carrier ID

具备Carrier ID Reader

SEMI尺度

E15E57E62E63E64E110S2 S8 S14

设备特点

Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
支持卓越的可靠性和超净性能;
最洪流平地实现交互操作性,无缝交流性和易于配置;
与所有手动或通过AMHS车辆交付的切合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
在搬运历程中用来保持wafer的洁净度。

 

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个
下一个
这是描述信息

总部

地址:安徽合肥市经济开发区新桥集成电路科技工业园A座

电话:0551-68661089

网站:www.oneweklin.com

邮箱:[email protected]

北京分公司

地址:北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室

河北分公司

地址:河北省香河机械人工业港1期E2栋

邮编:065400

在线留言

留言应用名称:
客户留言
描述:
验证码
这是描述信息

扫一扫打开手机网站