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产物中心

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全自动晶圆搬运系统
以 AHMS Control 为软件控制平台,AIV/AGV为搬运设备,Load Port 和 E—Rack为对接口与存放点 ? ?
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Load port
○ Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最洪流平地实现交互操作性,无缝交流性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的切合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运历程中用来保持wafer的洁净度。
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电话:0551-68661089

网站:www.oneweklin.com

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