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ag8亚洲国际平台游戏制程湿法设备

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厂务及设备端CDS(化学液供应系统)
1.用于半导体制程中湿法ag8亚洲国际平台游戏涉及的高纯化学药液的自动供应;
2.可灵活实现化学药液的多点供应;
3.可配置多桶,自动切换,实现不中断事情;
4.可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性。
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6寸槽式全自动清洗设备
1.设备实现自行动业,自动历程控制ag8亚洲国际平台游戏、干燥作业的湿法ag8亚洲国际平台游戏解决方案;
2.具备热N2干燥、Spin Dry选择;
3.有效控制金属、质料及微粒子的交织污染。
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8寸全自动槽式湿法ag8亚洲国际平台游戏制程设备
1.实现Cassetteless清洗;
2.具备热N2干燥、Spin Dry以及IPA Dry 选择;
3.良好的设备稳定性和可靠性;
4.有效控制金属、质料及微粒子的交织污染。
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